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Z6尊龙凯时官方网站 LPE肯求光子援助化学蚀刻碳化硅膜专利, 蚀刻碳化硅膜

2026-03-18
国度学问产权局信息表露，LPE公司肯求一项名为“来自反映室部分的碳化硅膜的光子援助化学蚀刻”的专利，公开号CN121693021A，肯求日历为2025年9月。
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